المكون الأساسي لمحلل الرطوبة والأكسجين هو مستشعر الأكسجين بأكسيد الزركونيوم. يستخدم هذا المستشعر خصائص التحليل الكهربائي لسيراميك أكسيد الزركونيوم لتوليد قوة دافعة كهربائية بناءً على فرق الضغط الجزئي للأكسجين عبر المستشعر، مما يتيح قياس تركيز الأكسجين. في الوقت نفسه، يتم استخدام تقنيات قياس محددة (مثل طريقة المعاوقة، وطريقة الأشعة تحت الحمراء، وما إلى ذلك) لتحديد محتوى الرطوبة في الغاز بدقة. يتضمن المستشعر عادةً جهاز تسخين لمنع تكثيف بخار الماء في غرفة الغاز، مما يضمن إجراء قياسات مستقرة في البيئات ذات درجات الحرارة العالية-والرطوبة العالية-.
